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真空泵啟動失敗的原因如下。
（1）驅動電機電壓不正確或過載。
（2）電動機啟動器的過載保護太小或設定值太低
（3）保險絲燒斷。
（4）如果真空泵裝有交流電動機：電動機的電容器損壞。
（5）檢查真空泵油的使用情況。 真空泵已回油，油溫太低，油變質，真空泵腔中充滿了真空泵油。 觀察油是否已乳化（白色泡沫）或碳化（變黑）。真空泵油的變質會影響轉子和轉子之間的摩擦，并導致葉片卡在泵腔中。
（6）真空泵或馬達卡住。
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