????????????????????????
?低溫冷疑的基礎(chǔ)理論極限壓力? 低溫冷覆的極限壓力關(guān)鍵在于低溫板溫度下氣體的飽和蒸氣壓。不考慮到被抽? 器皿的放空氣和漏汽，低溫冷疑抽真空的基礎(chǔ)理論極限壓力。為

p√7
式中P—低溫泵的基礎(chǔ)理論極限壓力? 低溫板溫度T。下的氣體飽和蒸氣壓，Pa;
T—出射到低溫板的氣體溫度，K;
7—低溫板溫度，K
當(dāng)5k=300K,7,=20K,帶入式(230)得
(2-31)? 在沒抽氣體成份是危害泵的基礎(chǔ)理論極限壓力關(guān)鍵主要參數(shù)，危害較大 的氣體是氫和氦，? 2K液態(tài)氮溫度下，氮和氫的飽和蒸氣壓各自為105Pa和7×105Pa,氖在該溫? 度下的飽和蒸氣壓是10-16Pa,能用液態(tài)氮溫度的低溫板徹底消除氖。用真空泵將容? 器中的空氣抽至10Pa時，器皿中剩下的氫、氖、氦分壓電路約為2.35×10-4Pa。假如? 用碳分子篩吸附泵預(yù)真空包裝時，狀況更加不好，可能這種無法冷疑的氣體分壓電路達(dá)到? 10-Pa
表2-19和表220各自得出了氣體(氦、氫、氖)的飽和蒸氣壓和低溫板不在? 同溫度下抽除300K氣體，按公式計算(231)測算的基礎(chǔ)理論極限壓力。? 2.4.3.2低溫吸附的基礎(chǔ)理論極限壓力? 一切超濾裝置都難以避免地存有泄露和原材料排氣，僅用10~20K的低溫板抽? 氣時，泵的極限壓力將隨抽真空時間慢慢上升，緣故是空氣中帶有2.35×105的難
以抽除的氣體(氖1.8×10-5;氦5×10-6;氫5×10-7),而氫也是原材料排氣的? 關(guān)鍵氣體成份，因此 ，當(dāng)代低溫泵的低溫板上面涂有活性碳、碳分子篩等呼吸劑材? 料，運(yùn)用低溫吸附來抽除無法抽除的氫、氖、氦氣體。
得出的公式計算(2-30)仍適用沾有活性碳、碳分子篩的低溫泵，測算低溫冷疑理? 論極限壓力，必須將公式計算中的p用低溫板溫度下吸附劑吸附氣體量v后的均衡氣? 體壓力p替代。圖243得出了活性碳和5A[圖2-43(a)]、13X[圖2-43(b)]分? 子篩對N2、H、He、Ne的吸附等溫線。通常條件下，應(yīng)用活性碳，比碳分子篩具? 有更強(qiáng)的吸附工作能力
般吸附劑吸附氣體的均衡壓力力比該溫度下冷疑氣體的飽和蒸氣壓p。低數(shù)? 個量級，低溫泵的基礎(chǔ)理論極限壓力受制于氣體的飽和蒸氣壓。設(shè)計方案低溫泵可用較少? 工作中壓力的1/10~1/100做為泵的極限壓力設(shè)計方案限制，從而能夠明確低溫板的溫? 度、吸附劑吸附量的較高值Vmax和泵工作中使用壽命tmax(2次再造中間的時間)。
2.4.3.3低溫泵評測極限壓力? 檢測低溫泵的極限壓力時，真空泵維修一般選用與擴(kuò)散泵同樣的檢測罩，這時候精確測量到的極? 限壓力是氣體的飽和蒸氣壓和滿載時器皿內(nèi)總的氣體負(fù)載與泵的泵效之比，即

h=b⊥Q

(2-32)? 式中p—低溫泵的評測極限壓力，Pa;? 低溫泵的基礎(chǔ)理論極限壓力，Pa;? Q滿載真空泵器皿總的氣體負(fù)載(漏汽隨和壁原材料排氣),Pa·L/s;? S—低溫泵的合理泵效，L/? 因?yàn)榈蜏乇美湟傻幕A(chǔ)理論極限壓力遠(yuǎn)小于吸附的極限壓力，沒有吸附原材料的低溫? 泵運(yùn)用公式計算(232)中的p是低溫冷疑基礎(chǔ)理論極限壓力；含有吸附原材料的低溫泵，? 式(2-32)中的力為泵的低溫吸附基礎(chǔ)理論極限壓力。? 真空泵器皿滿載標(biāo)準(zhǔn)下器壁原材料排氣是泵的關(guān)鍵氣體負(fù)荷(忽視漏汽危害),? 些常見原材料的排氣速度見表2-21
?