渦輪分子泵——真空泵中的領(lǐng)導(dǎo)者

真空技術(shù)的應(yīng)用，使大量高科技產(chǎn)品走入人們的日常生活。事實(shí)上，在研發(fā)和工業(yè)領(lǐng)域的大量應(yīng)用都需要極低的絕對(duì)壓力，即高真空環(huán)境。得名于渦輪機(jī)系列產(chǎn)品，渦輪分子泵代表著全球領(lǐng)先的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。轉(zhuǎn)速高達(dá) 90,000 rpm 的高速轉(zhuǎn)子能產(chǎn)生應(yīng)用所需的壓力條件，從而產(chǎn)生在高真空和超高真空范圍內(nèi)的高達(dá) 10-11 mbar 的真空度。

普發(fā)真空渦輪分子泵代表著安全的性能

現(xiàn)代渦輪分子泵能獲得超過(guò) 400 米/每秒的圓周速度。這將轉(zhuǎn)化為相應(yīng)的高轉(zhuǎn)子動(dòng)能，當(dāng)轉(zhuǎn)子和定子相觸，動(dòng)能將在瞬間傳輸?shù)酵鈿ず捅玫牡鬃稀Ｒ虼耍猛鈿さ姆€(wěn)定性具有至關(guān)重要的作用，需經(jīng)過(guò)理論和實(shí)際的雙重檢驗(yàn)。普發(fā)真空的渦輪分子泵已通過(guò)UL 61010和/或Semi S2認(rèn)證。除機(jī)械安全性能外，該認(rèn)證同時(shí)也包括了防火和轉(zhuǎn)速過(guò)高的雙重保護(hù)，這向認(rèn)證是由普發(fā)真空與TüV Rheinland共同開創(chuàng)的。

優(yōu)化客戶利益

真空對(duì)于整個(gè)生產(chǎn)流程成功與否往往起著決定性作用。一旦出現(xiàn)缺陷批次或者生產(chǎn)失敗，根據(jù)用途不同，造成的損失高達(dá)數(shù)百萬(wàn)歐元。因此，所有安裝部件具有較高可靠性變得越來(lái)越重要。如今，渦輪泵的工作時(shí)間常高達(dá)十萬(wàn)小時(shí)以上。在這段時(shí)間內(nèi)，應(yīng)盡可能減少由于維護(hù)或服務(wù)作業(yè)而造成的計(jì)劃內(nèi)中斷。該泵具有可以在現(xiàn)場(chǎng)更換軸承或機(jī)油的特點(diǎn)。結(jié)合該特點(diǎn)，使其具有極高的可用性。渦輪內(nèi)置有集成驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備，從而顯著降低了電纜支出。較先進(jìn)的驅(qū)動(dòng)技術(shù)將能耗降至較低，控制方案也多種多樣。符合防護(hù)等級(jí) IP 54 的結(jié)構(gòu)使該泵特別適合于工業(yè)用途。結(jié)構(gòu)形式緊湊，即使在狹窄空間，依然可以安裝使用。為了保持低成本，可以為同一尺寸的泵選擇不同的驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備 可以為同一尺寸的泵選擇不同的驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備。重量方面也在持續(xù)改進(jìn)：一臺(tái)抽速達(dá) 250 l/s 的渦輪泵，其重量?jī)H為 6 kg。普發(fā)真空渦輪泵廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域不僅涵蓋分析儀器、真空處理和半導(dǎo)體技術(shù)，還包括涂層、科研和工業(yè)用途。

應(yīng)用

在很多產(chǎn)品制造和工藝研究領(lǐng)域中，真空技術(shù)發(fā)揮著決定性的作用。渦輪分子泵對(duì)于制造極純工藝條件具有至關(guān)重要的作用。
 

應(yīng)用范圍覆蓋多個(gè)領(lǐng)域：

分析儀器（質(zhì)譜分析法、顯微鏡等）

半導(dǎo)體行業(yè)（電子組件、集成電路、太陽(yáng)能電池等）

光學(xué)/玻璃行業(yè)（隔熱保護(hù)、防反射、反射、濾光鏡鍍膜等）

真空鍍膜技術(shù)*（表面保護(hù)、裝飾土層、顯示技術(shù)、屏幕等）

真空冶金（真空焊接、真空燒結(jié)、真空合金、真空爐等）

泄漏檢測(cè)（真空系統(tǒng)、機(jī)車燃料箱、安全氣囊、真空包裝行業(yè)）

科研設(shè)施（核粒子物理學(xué)、核聚變研究、激光應(yīng)用等）

燈具行業(yè)（燈具生產(chǎn)等）

磁懸浮渦輪分子泵

電磁軸承也被稱作“主動(dòng)式磁懸浮軸承”，其轉(zhuǎn)子位置會(huì)被不間斷的監(jiān)測(cè)和自動(dòng)調(diào)整，并依靠自動(dòng)平衡補(bǔ)償來(lái)實(shí)現(xiàn)無(wú)磨損、低震動(dòng)的運(yùn)行。保證轉(zhuǎn)子能持續(xù)穩(wěn)定的工作。同時(shí)，這樣的軸承設(shè)計(jì)也實(shí)現(xiàn)了零維護(hù)和無(wú)潤(rùn)滑油。

技術(shù)上的完美杰作

HiPace M和ATH 500 M擁有5軸磁軸承。利用這種軸承技術(shù)，轉(zhuǎn)子 的位置能被實(shí)時(shí)控制。在工作中，動(dòng)平衡裝置會(huì)進(jìn)行自動(dòng)校準(zhǔn)，可 以較小程度上減輕震動(dòng)和工藝過(guò)程中產(chǎn)生的軸承位移。低能耗和極 低的維護(hù)成本確保了其極高的性價(jià)比。

超強(qiáng)的兼容性

是否覺得不同的界面接口標(biāo)準(zhǔn)讓您頭疼不已？我們的磁懸浮渦輪分 子泵能提供集成化的電子驅(qū)動(dòng)裝置供您選擇，從而滿足各種不同界 面接口的連接需要。

可靠

我們ATH M和ATP M系列的磁懸浮渦輪分子泵擁有5軸磁軸轉(zhuǎn)子 監(jiān)測(cè)系統(tǒng)和實(shí)時(shí)的轉(zhuǎn)子位移自動(dòng)修正功能。通過(guò)采用這種高性能的 軸承技術(shù)，我們的泵不僅能確保長(zhǎng)時(shí)間的穩(wěn)定性和可靠性，同時(shí)運(yùn) 行時(shí)也非常安靜。此系列軸承技術(shù)的泵在半導(dǎo)體、鍍膜和干蝕刻等 離子體過(guò)程行業(yè)的高真空工藝中具有成員地位，此外也廣泛應(yīng)用于 許多其他工業(yè)行業(yè)和研發(fā)領(lǐng)域。

ATH 1600 M

Holweck 級(jí) 5 軸磁懸浮渦輪泵適合用于 N2的直至 1400 l/s 的吸氣能力

產(chǎn)品描述

水冷

帶有CE標(biāo)志且符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

加熱版本（MT）可用于腐蝕性應(yīng)用

使用集成驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備 OBC 或外部 Magpower 驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備運(yùn)行

用于在所有情況下的安裝

產(chǎn)品

ATH 1600 MT，DN 200 CF-F，外部驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備，水冷，加熱 (P6522103)

ATH 1600 MT，DN 200 ISO-F，外部驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備，水冷，加熱 (P6562103)

ATH 1600 MT，DN 250 CF-F，外部驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備，水冷，加熱 (P6622103)

ATH 1600 MT，DN 250 ISO-F，外部驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備，水冷，加熱 (P6662103)

ATH 1603 M，DN 200 CF-F，外部驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備，水冷，非加熱 (Y2522100)

ATH 1603 M，DN 200 ISO-F，外部驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備，水冷，非加熱 (Y2562100)

ATH 1603 M，DN 250 CF-F，外部驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備，水冷，非加熱 (Y2622100)

ATH 1603 M，DN 250 ISO-F，外部驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備，水冷，非加熱 (Y2662100)

ATH 1603 M，DN 200 CF-F，OBC V4 集成驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備，遙控，水冷，非加熱 (YC52215A)

ATH 1603 M，DN 200 ISO-F，OBC V4 集成驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備，遙控，水冷，非加熱 (YC56215A)

ATH 1603 M，DN 250 CF-F，OBC V4 集成驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備，遙控，水冷，非加熱 (YC62215A)

ATH 1603 M，DN 250 ISO-F，OBC V4 集成驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備，遙控，水冷，非加熱 (YC66215A)

ATH 1603 M，DN 200 CF-F，OBC V4 集成驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備，DeviceNet，水冷，非加熱 (YE52215A)

ATH 1603 M，DN 200 ISO-F，OBC V4 集成驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備，DeviceNet，水冷，非加熱 (YE56215A)

ATH 1603 M，DN 250 CF-F，OBC V4 集成驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備，DeviceNet，水冷，非加熱 (YE62215A)

ATH 1603 M，DN 250 ISO-F，OBC V4 集成驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備，DeviceNet，水冷，非加熱 (YE66215A)

ATH 1603 M，DN 200 CF-F，OBC V4 集成驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備，Profibus，水冷，非加熱 (YG52215A)

ATH 1603 M，DN 200 ISO-F，OBC V4 集成驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備，Profibus，水冷，非加熱 (YG56215A)

ATH 1603 M，DN 250 CF-F，OBC V4 集成驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備，Profibus，水冷，非加熱 (YG62215A)

ATH 1603 M，DN 250 ISO-F，OBC V4 集成驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備，Profibus，水冷，非加熱 (YG66215A)

ATH 1600 MT，DN 200 CF-F，外部驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備，水冷，加熱

使用外部Magpower 驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備運(yùn)行

用于在所有情況下的安裝

水冷，加熱

帶有CE標(biāo)志且符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

Holweck 級(jí) 5 軸磁懸浮渦輪泵適合用于 N2的直至 1360 l/s 的吸氣能力

法蘭 DN 200 CF-F 適用于超高真空時(shí)要求嚴(yán)苛的應(yīng)用